99久久国产免费福利,91国在线高清视频,中文字幕免费视频,dy888午夜91精品国产

  •  <label id="z7tlg"></label>

        

        2. <menu id="z7tlg"><noscript id="z7tlg"></noscript></menu>
        <dfn id="z7tlg"><td id="z7tlg"></td></dfn>
        <pre id="z7tlg"><small id="z7tlg"></small></pre>
        <address id="z7tlg"><td id="z7tlg"></td></address>
        


        
  
        
    
        
      
         
        歡迎訪問四川久光科技有限公司官方網(wǎng)站
          
        
      
    
        
  
        
  
        
    
  
        
  
  
        
  

        





        







            
        微透鏡陳列元件
        
    




        
	
	
        
		
		
		
		
		
		
		
        
		  
        聯(lián)系我們
        
		  
        四川久光科技有限公司
        聯(lián)系電話：13882237898
        電子郵箱：dxc468@126.com
        微信號：dxc468
        網(wǎng)址：fjcszs.cn
        公司地址：成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)工業(yè)集中區(qū)
        
		
        
	
        
	
	
	
        
	  
        
	    
        
	衍射光學(xué)元件的特點(diǎn)

        
	    
        您的當(dāng)前位置：
	    
	 首 頁 >> 新聞資訊 >> 公司新聞

	    
        
	  
        
	  
        
	   
	

        
	
        衍射光學(xué)元件的特點(diǎn)
        

        
	
        
	 發(fā)布日期：2019-12-20
	 作者：
	 點(diǎn)擊：
	
        
	

        
	
        衍射光學(xué)元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻機(jī)中一系列可動(dòng)的鏡片(圖1所示)，主要用于產(chǎn)生光刻所需要的光源。一臺光刻機(jī)的光源大概有4000片鏡片。
        衍射光學(xué)元件的特點(diǎn)
        DOE的特點(diǎn)則是能夠在保持較高衍射效率的同時(shí)對光強(qiáng)分布進(jìn)行精確控制，因此DOE成為實(shí)現(xiàn)離軸照明的理想元件。一般用于光刻系統(tǒng)離軸照明的DOE，其子單元個(gè)數(shù)需<10，設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)量較大，單元尺寸達(dá)到微米甚至是亞微米量級 。
        一段光刻膠線條的示意圖
        衍射光學(xué)元件的概念
        光沿著直線傳播，當(dāng)光穿過一個(gè)小孔或經(jīng)過一個(gè)輪廓分明的邊緣時(shí)，沿小孔邊緣產(chǎn)生了干涉圖形，結(jié)果得到了一個(gè)模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣，如圖2。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現(xiàn)象被稱做衍射  。
        衍射光學(xué)元件
        從小孔射出的光的干涉圖樣
        衍射效率
        衍射效率是評價(jià)衍射光學(xué)元件以及含有衍射光學(xué)元件的折衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的重要指標(biāo)之一。光線通過衍射光學(xué)元件后，會(huì)產(chǎn)生多個(gè)衍射級次，一般只是關(guān)注主衍射級次的光線，其他衍射級次的光線在主衍射級像面上形成雜散光，降低像面的對比度。因此，衍射光學(xué)元件的衍射效率直接影響到衍射光學(xué)元件的成像質(zhì)量，對衍射光學(xué)元件衍射效率的精確測量是十分必要的 [3]  。
        掩膜版的衍射
        光的衍射和光刻密切相關(guān)，因?yàn)橥队把谀ぐ嫔嫌行〉那逦鷪D形并且間距很窄。曝光時(shí)，光必須通過這些圖形，見圖3。衍射圖樣奪走了曝光能量，并使光發(fā)散，導(dǎo)致光刻膠上不要曝光的區(qū)域被曝光。這個(gè)問題在孔小時(shí)更嚴(yán)重，例如小到200nm的接觸孔。由衍射引起的干涉圖樣能使小接觸孔和小線條很難被光刻
        
    	
        本文網(wǎng)址：http://fjcszs.cn/news/375.html 
        
    
        關(guān)鍵詞：衍射光學(xué)元件特點(diǎn),衍射光學(xué)元件 
        
    
        上一篇：Holoor光束分光衍射光學(xué)元件/Holoor多光斑衍射光學(xué)元件DOE
        下一篇：微透鏡陣列元件淺談復(fù)眼透鏡陣列的原理和應(yīng)用
        

        

	 
        最近瀏覽：
        
	    
        
	     
          
		  	     
        
	    
        
	  
        
     


	  
        
	  	
        
	
	


        


        
	
        
		
	
        

        

        
	
        
		
		
        微透鏡陳列元件      
        
	
        

        

        
	
        
		
        
	
	
        熱推產(chǎn)品  |  主營區(qū)域：
			四川
			重慶
			北京
			山東
			昆山
			吳江
			天津
			武漢
			上海
			長春
			
        
	
        

        


















	

        

        
	
        
	
        
	
        歡迎給我們留言
        
	

        

        
	
 	
        
    	請?jiān)诖溯斎肓粞詢?nèi)容，我們會(huì)盡快與您聯(lián)系。
		
 	
        
	
        
    	
        姓名
        
     	
        
        	聯(lián)系人   
        	
    	
        
	
        

	
        
    	
        電話
        
    	
        
        	座機(jī)/手機(jī)號碼