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微透鏡陣列元件性能測試
衡量微透鏡光學質量的性能參數(shù)有很多，對于折射微透鏡有焦距、表面粗糙度、陣列均勻性等物理參數(shù)和點擴散函數(shù)等光學性能參數(shù)，而對于衍射微透鏡有衍射效率這一重要參數(shù)。目前，針對微透鏡參數(shù)的測量方法有多種，如干涉法、CCD直接成像法、哈特曼波前傳感器測量法、刀口振動法、莫爾法、泰伯效應法等等，各種方法所利用的光學原理各不相同，也各有優(yōu)缺點。
微透鏡陣列元件的填充因子ρ是指單元元件的有效通光面積與單元總面積的比值，它決定了元件對光能的匯聚和發(fā)散能力。填充因子與元件的形狀和排列方式有關，如采用圓孔徑，傳統(tǒng)的正交排列微透鏡陣列元件的填充因子較大為78.5%，六邊形排列微透鏡陣列的填充因子較大為90%。而采用方形孔徑和六邊形孔徑填充方式，理論上填充因子可達到100%，但由于透鏡孔徑邊緣處面形誤差的存在使得其有效折光能力下降，填充因子會降低。面形輪廓的控制范圍越大，則加工誤差越小，填充因子就越高。
