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衍射的概念光沿著直線傳播，當光穿過一個小孔或經過一個輪廓分明的邊緣時，沿小孔邊緣產生了干涉圖形，結果得到了一個模糊的圖像，而不是希望出現(xiàn)在光和陰影之間的清晰邊緣。光看上去沿狹縫邊緣彎曲了。這種現(xiàn)象被稱做衍射 。
衍射效率衍射效率是評價衍射光學元件以及含有衍射光學元件的折衍射混合光學系統(tǒng)的重要指標之一。光線通過衍射光學元件后，會產生多個衍射級次，一般只是關注主衍射級次的光線，其他衍射級次的光線在主衍射級像面上形成雜散光，降低像面的對比度。因此，衍射光學元件的衍射效率直接影響到衍射光學元件的成像質量，對衍射光學元件衍射效率的精確測量是十分必要的 。掩膜版的衍射光的衍射和光刻密切相關，因為投影掩膜版上有小的清晰圖形并且間距很窄。曝光時，光必須通過這些圖形。衍射圖樣奪走了曝光能量，并使光發(fā)散，導致光刻膠上不要曝光的區(qū)域被曝光。這個問題在孔小時更嚴重，例如小到200nm的接觸孔。由衍射引起的干涉圖樣能使小接觸孔和小線條很難被光刻。
