微透鏡陣列元件種類

1.1二元微透鏡陣列元件

二元微透鏡陣列指的是利用臺階狀的面形結(jié)構(gòu)來趨近于連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列。該元件利用二元掩模通過多次套刻完成多個(gè)臺階結(jié)構(gòu)的制備，可制備結(jié)構(gòu)指標(biāo)參數(shù)如下：

波段范圍: 0.248μm ~10μm； 子口徑形狀：圓形、矩形、正六邊形、環(huán)形等；

子透鏡口徑：0.01mm~4mm； 透鏡材料：石英、硅、鍺、硒化鋅等；

典型臺階數(shù)：2、4、8、16； 衍射效率： 75%~95%。

本單位現(xiàn)有的二元微透鏡陣列列表如下，列表中的透鏡可在3周內(nèi)供貨。其余規(guī)格的接受訂制，制作周期約1-2個(gè)月。

1.2連續(xù)面形微透鏡陣列元件

本單位采用獨(dú)特的成形及面形控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)無衍射色差，適用于寬波段系統(tǒng)成像和聚焦的高精度連續(xù)表面微透鏡陣列。

數(shù)值孔徑：0.01~0.5； 透鏡面形：球面、拋物面、雙曲面等；

面形誤差：<3%； 子透鏡口徑：5μm~4mm； 填充因子：> 98%；

子孔徑形狀：四邊形、六邊形、圓形、矩形等；

透鏡材料：石英、硅、鍺、硒化鋅、K9、氟化鈣、PMMA、PC等

1.2.1柱透鏡列陣列元件

可以研制任意面形分布（如非球面）的微柱透鏡列陣，結(jié)構(gòu)周期20μm~5mm，應(yīng)用于光聚焦、整形等領(lǐng)域。下圖所示為本單位研制的特殊面形的柱鏡結(jié)構(gòu)，面形精確控制在50nm，表面粗糙度小于10nm。

1.2.2 四邊形微透鏡陣列元件

四邊形微透鏡是指口徑形狀為四邊形或者按照四邊形排布的透鏡。本單位可以定制口徑范圍在5μm~5mm之間的四邊形微透鏡陣列。

現(xiàn)有四邊形微透鏡陣列表如下，可在1～2周內(nèi)供貨。其余規(guī)格的接受訂制，制作周期約1-2個(gè)月。

1.2.3六邊形微透鏡陣列元件

六邊形微透鏡陣類指的是口徑形狀為六邊形或者按照六邊形排布的微透鏡陣列。可定制口徑大小在50um~5mm（透鏡中心間距）之間的六邊形微透鏡陣列。

現(xiàn)有六邊形微透鏡列陣列表如下，可在1～2周內(nèi)供貨。其余規(guī)格接受訂制，制作周期約1-2個(gè)月。

1.2.4任意排布任意面形微透鏡陣列元件

可以按照客戶的特殊需求訂制任意面形任意排布的微透鏡陣列。以下為本單位所制備的離軸型微透鏡陣列的形貌圖以及焦斑圖。